三井PELLICLE

领先世界的光掩模防尘用薄膜

  • 光学特性
  • 清洁性

特性

PELLICLE的原理

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製品群

6"ig通用薄膜
KrF受激准分子用薄膜
ArF受激准分子用薄膜
小型液晶薄膜

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支持主要厂商生产步进光刻机

Nikon Canon ASML

环保

产品包装盒可循环回收利用

完善的技术服务体系

应用方法介绍
质量问题原因分析及对策
各种分析